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显微共焦模块设计
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以下为所涉及拉曼模块和iHR550光谱仪组成的显微共焦拉曼光谱仪的拉曼光谱和光致发光光谱的实测结果。具体测试参数在右侧谱仪软件中可看出。

注: 

    1. 此测试结果严重依赖于所用光谱仪和其它仪器参数,不作为模块验收标准。

    2. 在其它网站或报告等任何地方引用本页所含图片,请注明图片出处。

 

一、光致发光光谱

1. GaAs单晶,50倍长工作距离物镜,150刻线光栅狭缝宽度200微米  

   固态泵浦激光器405nm,到达样品激光功率小于0.004mW,并衰减10倍,积分时间10s  

      

2. Newport OG507彩色玻璃,50倍长工作距离物镜,150刻线光栅狭缝宽度200微米   

   固态泵浦激光器405nm,到达样品激光功率小于0.004mW,并衰减10^4倍,积分时间10s.   

    

二、拉曼光谱 

一)、氦氖激光632.8nm所测光谱 

1. 硅单晶,取向(111), 100倍物镜,600刻线光栅狭缝宽度80微米

   氦氖激光632.8nm,到达样品激光功率约5mW,积分时间1s  

   最低测试波数约80cm-1  

       

2. 硅单晶,取向(111), 100倍物镜,600刻线光栅狭缝宽度80微米  

   氦氖激光632.8nm,到达样品激光功率约5mW,积分时间1s  

   最低测试波数约50cm-1  

      

3. 硅单晶,取向(111), 100倍物镜,600刻线光栅狭缝宽度80微米

   氦氖激光632.8nm,到达样品激光功率约5mW,积分时间1s

   最低测试波数约30cm-1

   

   下图为上图拉曼光谱的CCD图像。拉曼信号覆盖的CCD宽度为10像数高度,且CCD图像非常干净,无杂散光信号。

      

4. 硅单晶,取向(111), 100倍物镜,1800刻线光栅狭缝宽度80微米 

   氦氖激光632.8nm,到达样品激光功率约5mW,积分时间1s(二阶峰10s) 

   最低测试波数约30cm-1 

      

   下图为上图拉曼光谱的CCD图像。拉曼信号覆盖的CCD宽度为10像数高度,且CCD图像非常干净,无杂散光信号。

        

5. 石墨晶体,100倍物镜,600刻线光栅狭缝宽度80微米

   氦氖激光632.8nm,到达样品激光功率约5mW,积分时间10s

      

二)、固态泵浦激光532nm所测光谱 

6. 硅单晶,100倍物镜,1800刻线光栅狭缝宽度80微米 

   固态泵浦激光器532nm,到达样品激光功率约18mW,积分时间4s. 

   最低测试波数约20cm-1 

   

三)、拉曼光谱成像 

7. 显微拉曼模块可安装拉曼成像平台,进行高质量的拉曼成像测试。

   二维拉曼成像

 

   三维拉曼成像:

     

            多层聚合物薄膜                    包裹体

                              

 

  

 

注:我们欢迎客户就样品进行常规测试,可联系谭平恒研究员

   联系方式见:http://raman.semi.cas.cn/lxwm_23331/lxwm_lxfs/.

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